在日新月異的科技浪潮中,泛半導體行業以其廣泛的應用領域和關鍵性的技術支撐,成為引領現代工業發展的重要力量。其中,集成電路、平板顯示、LED、太陽能電池、分立器件以及半導體設備材料產業等細分領域,共同構成了這個充滿活力的行業生態。
在這些領域中,半導體的制作流程尤為關鍵,其中沉積步驟更是不可或缺的一環。沉積,即將導電、隔離或半導體材料的薄膜精確沉積在晶圓上,為后續的工藝奠定堅實基礎。傳統的化學氣相沉積(CVD)技術,以其高效、穩定的特點,在半導體制造中發揮著重要作用。
然而,CVD工藝在產生目標產物的同時,也會釋放出廢氣,這些廢氣成分復雜,含量高,且具有較強的毒性和腐蝕性。例如HCl、ClF3、HF以及自燃性氣體SiH4等化合物氣體,不僅危害生產環境,更對操作人員的身體健康構成威脅。
為了應對這一挑戰,天得一公司憑借其深厚的技術積累和豐富的實踐經驗,推出了高效、可靠的廢氣治理方案。通過采用不同型號的Local Scrubber+復合式組合工藝處理,我們能夠有效去除廢氣中的有害物質,使其達到可排放的尾氣處理標準。這不僅保護了生產環境,也為企業的可持續發展提供了有力保障。
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