方案概述
半導體制造領域涉及的廢氣種類繁多,核心涵蓋普通氣體排放、含毒性成分廢氣、有機揮發性化合物(VOCs)以及酸堿性廢氣。該行業廣泛運用特種氣體、強酸強堿等化學品及大量有機溶劑與揮發性介質,這些物質在加工過程中不可避免地生成上述廢氣。同時,化學品存儲區(如固廢倉庫)及特定作業環境亦成為廢氣污染的關鍵源。鑒于半導體行業的獨特性,天得一公司提供全面的污染物在線監控體系方案,確保精準、高效地監測并管理各類廢氣排放。
方案內容
方案特點
防爆設計
安全可靠
安全性高
斷電自啟
運行穩定
自動校準功能
在線監測
數據精準
維護成本低
氣相色譜法,壽命長
核心產品