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方案概述

半導體制造領域涉及的廢氣種類繁多,核心涵蓋普通氣體排放、含毒性成分廢氣、有機揮發性化合物(VOCs)以及酸堿性廢氣。該行業廣泛運用特種氣體、強酸強堿等化學品及大量有機溶劑與揮發性介質,這些物質在加工過程中不可避免地生成上述廢氣。同時,化學品存儲區(如固廢倉庫)及特定作業環境亦成為廢氣污染的關鍵源。鑒于半導體行業的獨特性,天得一公司提供全面的污染物在線監控體系方案,確保精準、高效地監測并管理各類廢氣排放。

方案內容

  • 1、粉塵廢氣監測:針對半導體制造全鏈條中產生的粉塵廢氣,我們部署了基于激光散射技術的先進在線監測儀,實現精準、實時地粉塵濃度監測,確保生產環境潔凈度。
  • 2、鍋爐廢氣監控:針對廠區蒸汽與燃氣鍋爐排放的氮氧化物等關鍵污染物,采用高性能CEMS(煙氣排放連續監測系統),確保對鍋爐廢氣排放的全面、準確監控。
  • 3、有機廢氣治理:針對半導體制造過程中釋放的非甲烷總烴、總VOCs及苯系物等有機廢氣,我們配置專業的非甲烷總烴在線監測系統,精確捕捉并監測有害氣體。
  • 4、酸堿廢氣監測:鑒于氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物及氯氣等酸堿廢氣的特殊性與潛在危害,選用基于電化學原理的酸堿在線監測儀,實現精確測量與及時預警。
  • 5、信息化平臺整合:所有監測系統的數據均通過統一采集平臺匯總至企業信息化管理系統,實現數據的可視化管理與分析,為企業決策提供科學依據。
  • 立即咨詢

方案特點

  • 防爆設計

    安全可靠

  • 安全性高

    斷電自啟

  • 運行穩定

    自動校準功能

  • 在線監測

    數據精準

  • 維護成本低

    氣相色譜法,壽命長

核心產品